Foundations of low-temperature plasma enhanced materials synthesis and etching

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标题	Foundations of low-temperature plasma enhanced materials synthesis and etching 相关领域纳米技术微电子材料科学等离子体刻蚀等离子体半导体蚀刻（微加工）工程物理基质（水族馆）硅光电子学物理量子力学海洋学地质学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6595/aaa86c
DOI	10.1088/1361-6595/aaa86c doi
其它	期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：G. S. Oehrlein; Satoshi Hamaguchi 出版日期：2018-01-17
求助人	烟雨蒙蒙在 2025-11-14 20:20:42 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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