Aspect ratio and height estimation in critical dimension scanning electron microscope metrology using deep learning combined with features of proximity effect

已完结

文献求助详情

标题	Aspect ratio and height estimation in critical dimension scanning electron microscope metrology using deep learning combined with features of proximity effect
网址	https://doi.org/10.1116/6.0004025
DOI	10.1116/6.0004025 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：Delong Chen; Qingmao Zhang; Zhuming Liu 出版日期：2025-02-11
求助人	Zi_1234 在 2026-10-10 16:45:09 发布自广东，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人或该文件上传人下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，让源源不断科研创作灵感的涌现之地

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 1732468915发布了新的文献求助10

刚刚; 俏皮的菀发布了新的文献求助10

1秒前; 儒雅静柏发布了新的文献求助10

1秒前; Juvenilesy的应助被哈利采纳，获得10

2秒前; Lucas上传了应助文件

3秒前; 舒服的月饼发布了新的文献求助10

3秒前; 852上传了应助文件

4秒前; 思源上传了应助文件

4秒前; 汉堡包上传了应助文件

4秒前; 共享精神上传了应助文件

5秒前; 脑洞疼上传了应助文件

5秒前; Alex上传了应助文件

5秒前; cheney发布了新的文献求助10

6秒前; 思源的应助被Manana采纳，获得30

7秒前; 标致月饼完成签到，获得积分10

7秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

8秒前; 沉静从阳发布了新的文献求助10

8秒前; 张鱼小銮子发布了新的文献求助10

8秒前; 体贴初彤发布了新的文献求助10

8秒前; 万能图书馆上传了应助文件

8秒前; Jeremy发布了新的文献求助10

9秒前; FJC发布了新的文献求助10

10秒前; 梨花发布了新的文献求助10

10秒前; 过时的天川发布了新的文献求助10

11秒前; Juvenilesy上传了应助文件

11秒前; yangging发布了新的文献求助10

12秒前; zhang发布了新的文献求助10

12秒前; 科研通AI6.2的应助被缓慢的远望采纳，获得10

12秒前; yutang完成签到，获得积分10

12秒前; 行者风发布了新的文献求助10

12秒前; skp的应助被ycc采纳，获得10

12秒前; Jasper上传了应助文件

13秒前; 张祥辉发布了新的文献求助10

13秒前; 医学小王完成签到，获得积分10

14秒前; 1732468915完成签到，获得积分10

14秒前; VV2001完成签到，获得积分10

15秒前; 三三发布了新的文献求助10

15秒前; hikari6667完成签到，获得积分10

15秒前; 永远的Tmac发布了新的文献求助30

15秒前; 霉霉完成签到，获得积分10

16秒前