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标题
A Noncontact 3-Degree-of-Freedom Displacement Sensor With Nanoscale Resolution
网址
http://xplorestaging.ieee.org/ielx8/19/11329398/11322555.pdf...
DOI
10.1109/tim.2025.3650281 doi
其它 期刊：IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement
作者：Shuyu Zhu; Rong-Jie Li; Tao Xu; Zi-Long Feng; Li-Zhuang Yan; et al
出版日期：2026-01-01
求助人
夜凉荑寒 在 2026-10-10 16:14:06 发布自浙江，悬赏 10 积分
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