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Influence of chemical bonding on the material removal of tantalum for the application of chemical mechanical polishing
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DOI
10.1016/j.wear.2026.206581 doi
其它 期刊:Wear
作者:Jiaxin Zheng; Liang Jiang; Yongshun Zhang; Xia Zhong; Yuting Wei; et al
出版日期:2026-04-01
求助人
Koorin 在 2026-10-09 12:06:08 发布自上海,悬赏 10 积分
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