| 标题 |
 Ultra-low loss dispersion-engineered silicon nitride waveguides on 300 mm wafers 相关领域
薄脆饼
材料科学
氮化硅
色散（光学）
光电子学
硅
氮化物
光学
复合材料
物理
图层（电子）
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| 网址 | |
| DOI |
10.1117/12.3043377
doi
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| 其它 |
期刊：暂无 作者：E. M. Kim; Lewis G. Carpenter; A. Matthew Smith; Christopher C. Tison; Daniel J. Coleman; et al 出版日期：2025-01-24 |
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