Effects of an organotin compound on radiation-induced reactions of extreme-ultraviolet resists utilizing polarity change and radical crosslinking

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标题	Effects of an organotin compound on radiation-induced reactions of extreme-ultraviolet resists utilizing polarity change and radical crosslinking
网址	https://doi.org/10.7567/1347-4065/aae986
DOI	10.7567/1347-4065/aae986 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Satoshi Enomoto; Takumi Yoshino; Kohei Machida; Takahiro Kozawa 出版日期：2018-11-19
求助人	六便士在攒在 2026-09-29 14:32:48 发布自安徽，悬赏 10 积分
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