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标题
Heat-assisted pulsed laser processing induced nano-cracks for low kerf-loss and high-surface quality SiC wafer slicing
用于低切口损失和高表面质量SiC晶片切片的热辅助脉冲激光加工诱导纳米裂纹
相关领域
切片 材料科学 薄脆饼 纳米- 激光器 质量(理念) 冶金 复合材料 光电子学 光学 机械工程 哲学 物理 认识论 工程类
网址
DOI
10.1016/j.optlastec.2025.113040 doi
其它 期刊:Optics & Laser Technology
作者:Liu Xiangfu; Minghui Hong
出版日期:2025-04-28
求助人
guojingjing 在 2025-06-27 13:38:32 发布自辽宁,悬赏 10 积分
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