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 Electron-beam induced photoresist shrinkage influence on 2D profiles 电子束诱导光刻胶收缩对二维轮廓的影响
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期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Benjamin Bunday; Aaron Cordes; John A. Allgair; Daniel Angel Bellido-Aguilar; Vasiliki Tileli; et al 出版日期：2010-03-11 |
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