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标题
Effect of temperature on the growth of TiN thin films by oblique angle sputter-deposition: A three-dimensional atomistic computational study
温度对斜角溅射沉积TiN薄膜生长影响的三维原子计算研究
相关领域
材料科学 溅射沉积 溅射 基质（水族馆） 薄膜 锡 沉积（地质） 粒子（生态学） 倾斜（摄像机） 光学 各向异性 表面粗糙度 分子物理学 几何学 复合材料 化学 纳米技术 物理 冶金 海洋学 地质学 古生物学 生物 数学 沉积物
网址
https://doi.org/10.1016/j.commatsci.2021.110662
AI链接 sciencedirect.com archives-ouvertes.fr hal.sciencedoi.org
DOI
10.1016/j.commatsci.2021.110662 doi
其它 期刊：Computational Materials Science
作者：Rubenson Mareus; Cédric Mastail; Florin Nita; A. Michel; G. Abadias
出版日期：2021-06-22
求助人
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