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 A two axes scanning SOI MEMS micromirror for endoscopic bioimaging 用于内窥镜生物成像的双轴扫描SOI MEMS微镜
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微电子机械系统
材料科学
执行机构
光学
绝缘体上的硅
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梳状致动器
光电子学
表面微加工
光学相干层析成像
硅
反应离子刻蚀
图层（电子）
蚀刻（微加工）
制作
电气工程
纳米技术
工程类
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病理
替代医学
医学
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期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：J. Singh; J H S Teo; Yi Xu; C.S. Premachandran; Nanguang Chen; et al 出版日期：2007-12-11 |
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