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标题	Deposition of Ti Zr alloy films using Ti and Zr dual-cathode high-power impulse magnetron co-sputtering Ti和Zr双阴极大功率脉冲磁控共溅射沉积Ti Zr合金薄膜相关领域材料科学高功率脉冲磁控溅射阴极溅射沉积复合材料薄膜腔磁控管微观结构分析化学（期刊）溅射阴极电弧沉积沉积（地质）弹性模量脉冲激光沉积基质（水族馆）冶金电气工程纳米技术阴极保护阳极电极化学物理化学古生物学工程类地质学海洋学生物色谱法沉积物
网址	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2023.130214
DOI	10.1016/j.surfcoat.2023.130214 doi
其它	期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Chin-Chiuan Kuo; Yu-Tse Lin; Wen‐Chung Liu 出版日期：2023-11-15
求助人	楼萌黑在 2025-06-09 20:25:18 发布，悬赏 10 积分
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