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标题
Deposition of Ti Zr alloy films using Ti and Zr dual-cathode high-power impulse magnetron co-sputtering
Ti和Zr双阴极大功率脉冲磁控共溅射沉积Ti Zr合金薄膜
相关领域
材料科学 高功率脉冲磁控溅射 阴极 溅射沉积 复合材料 薄膜 腔磁控管 微观结构 分析化学（期刊） 溅射 阴极电弧沉积 沉积（地质） 弹性模量 脉冲激光沉积 基质（水族馆） 冶金 电气工程 纳米技术 阴极保护 阳极 电极 化学 物理化学 古生物学 工程类 地质学 海洋学 生物 色谱法 沉积物
网址
https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2023.130214
DOI
10.1016/j.surfcoat.2023.130214 doi
其它 期刊：Surface and Coatings Technology
作者：Chin-Chiuan Kuo; Yu-Tse Lin; Wen‐Chung Liu
出版日期：2023-11-15
求助人
楼萌黑 在 2025-06-09 20:25:18 发布，悬赏 10 积分
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