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 Angle-resolved ellipsometric analysis of polishing-induced subsurface damages in calcium fluoride crystals for ultra-precision manufacturing 超精密制造用氟化钙晶体抛光诱导亚表面损伤的角分辨椭偏分析
相关领域
抛光
材料科学
损害赔偿
氟化物
钙
椭圆偏振法
冶金
光学
化学
纳米技术
无机化学
薄膜
物理
政治学
法学
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期刊：Applied Surface Science 作者：Tianqi Jia; Jian Wang; Lihua Peng; Wei Guo; Wenjuan Sun; et al 出版日期：2025-03-01 |
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(2025-6-4)
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