Development of a Modular Active Probe Card Equipment for Wafer-Level Multiparameter Fast Characterization and Prediction of High-Q MEMS Gyroscopes

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标题	Development of a Modular Active Probe Card Equipment for Wafer-Level Multiparameter Fast Characterization and Prediction of High-Q MEMS Gyroscopes
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx8/7361/11547307/11495069.p...
DOI	10.1109/jsen.2026.3686150 doi
其它	期刊：IEEE Sensors Journal 作者：Yang Zhao; Q. Shi; Guoming Xia; Jinyang Huang; Anping Qiu 出版日期：2026-06-01
求助人	aaa 在 2026-08-18 16:52:12 发布自中国香港，悬赏 10 积分
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