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标题
Optimization of a BEOL Aluminum Deposition Process Enabling Wafer Level Al-Al Thermo-Compression Bonding
网址
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/8795274/8811008/08811170...
DOI
10.1109/ectc.2019.00040 doi
其它 期刊：Electronic Components and Technology Conference
作者：S. Schulze; M. Wietstruck; M. Fraschke; P. Kerepesi; Helmut Kurz; et al
出版日期：2019-05-01
求助人
积极小土豆 在 2026-08-17 13:57:31 发布自天津，悬赏 10 积分
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