Study on the mechanism of dislocation-induced particle aggregation in 4H-SiC single crystal substrates

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标题	Study on the mechanism of dislocation-induced particle aggregation in 4H-SiC single crystal substrates
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X2...
DOI	10.1016/j.vacuum.2025.114986 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Huiqing Chen; Mengyan Li; Xiufang Chen; Muqing Zhang; Xianglong Yang; et al 出版日期：2026-02-01
求助人	缥缈的青雪在 2026-07-29 16:18:37 发布自北京，悬赏 10 积分
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