Influence of coating thickness on the microstructure, composition and optical properties of aluminum nitride thin films grown on silicon substrates via low-temperature PEALD

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标题	Influence of coating thickness on the microstructure, composition and optical properties of aluminum nitride thin films grown on silicon substrates via low-temperature PEALD
网址	https://doi.org/10.1016/j.surfin.2021.101559
DOI	10.1016/j.surfin.2021.101559 doi
其它	期刊：Surfaces and Interfaces 作者：М.Г. Амбарцумов; V. A. Tarala; М.С. Никова; S.O. Krandievsky; Л. В. Кожитов 出版日期：2021-10-25
求助人	WZ 在 2026-07-13 15:18:30 发布自美国，悬赏 10 积分
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