Microsecond UV laser annealing annihilating Ru grains smaller than electron mean free path - 科研通

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标题	Microsecond UV laser annealing annihilating Ru grains smaller than electron mean free path
网址	http://dx.doi.org/10.1109/iitc/mam57687.2023.10154669
DOI	10.1109/iitc/mam57687.2023.10154669 doi
其它	期刊：2023 IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC) and IEEE Materials for Advanced Metallization Conference (MAM)(IITC/MAM) 作者：Lu Lu; Nicolas Jourdan; Richard Daubriac; Toshiyuki Tabata; Fabien Roze; et al 出版日期：2023-05-01
求助人	ADChem_JH 在 2026-08-09 13:44:08 发布自上海，悬赏 10 积分
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