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 Thermal conductivity of PECVD silicon-rich silicon nitride films measured with a SiO2/SixNy bimaterial microbridge test structure 用SiO2/SixNy双材料微桥测试结构测量PECVD富硅氮化硅薄膜的热导率
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期刊：半导体学报：英文版 作者：韩建强; 李琰; 李森林; 李青 出版日期：2014-01-01 |
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