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标题
Metal-ferroelectric AlScN-semiconductor memory devices on SiC wafers
SiC晶片上金属铁电AlScN半导体存储器件
相关领域
材料科学 光电子学 铁电性 薄膜 电容器 非易失性存储器 薄脆饼 兴奋剂 宽禁带半导体 碳化硅 电压 纳米技术 电气工程 电介质 复合材料 工程类
网址
https://doi.org/10.1063/5.0161746
DOI
10.1063/5.0161746 doi
其它 期刊：Applied Physics Letters
作者：Y. He; Shangyi Chen; Merrilyn Mercy Adzo Fiagbenu; Chloe Leblanc; Pariasadat Musavigharavi; et al
出版日期：2023-09-18
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yule 在 2025-10-27 14:44:07 发布自山东，悬赏 10 积分
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