Surface flattening of poly-Si thin films by laser annealing and electrical properties of LTPS-TFTs

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标题	Surface flattening of poly-Si thin films by laser annealing and electrical properties of LTPS-TFTs 多晶硅薄膜的激光退火平整及LTPS-TFTs的电学性能相关领域薄膜晶体管材料科学退火（玻璃）光电子学薄膜压扁晶体管准分子激光器结晶激光器复合材料光学纳米技术电气工程图层（电子）电压工程类有机化学化学物理
网址	https://doi.org/10.1117/12.2544910
DOI	10.1117/12.2544910 doi
其它	期刊：作者：Fuminobu Hamano; Akira Mizutani; Kaname Imokawa; Daisuke Nakamura; Tetsuya Goto; et al 出版日期：2020-01-22
求助人	拒绝贪玩。在 2025-10-14 06:12:39 发布自福建，悬赏 20 积分
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