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Evaluation of the effect of surface roughness on thin film thickness measurements using variable angle XPS
使用可变角度XPS评估表面粗糙度对薄膜厚度测量的影响
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网址
https://doi.org/10.1016/0169-4332(89)90500-x
DOI
10.1016/0169-4332(89)90500-x doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Yixin Yan; Martin A. Helfand; C.R. Clayton
出版日期：1989-08-01
求助人
b大溃 在 2025-09-12 15:43:29 发布自江苏，悬赏 10 积分
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