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Evaluation of the effect of surface roughness on thin film thickness measurements using variable angle XPS

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作者
Yixin Yan,Martin A. Helfand,C.R. Clayton
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：1989-08-01 卷期号：37 (4): 395-405 被引量：83
标识
DOI：10.1016/0169-4332(89)90500-x
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