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  High-Performance and Fabrication-Tolerant 3 dB Adiabatic Coupler Based on Ultralow-Loss Silicon Waveguide by Tri-Layer Hard Mask Etching Process 基于超低损耗硅波导的三层硬掩模刻蚀高性能、可制造的3 dB绝热耦合器
相关领域
材料科学
蚀刻（微加工）
光电子学
制作
硅
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光子学
绝热过程
图层（电子）
光子集成电路
光学
硅光子学
功率分配器和定向耦合器
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物理
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期刊：Nanomaterials 作者：Ke Zhang; Yunchu Yu; Nanfei Zhu; Senlin Zhang; Jie Sun; et al 出版日期：2025-06-18 |
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