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 DTCO at N7 and beyond: patterning and electrical compromises and opportunities N7及以上的DTCO：图案化和电气妥协与机遇
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期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Julien Ryckaert; Praveen Raghavan; P. Schuddinck; Trong Huynh-Bao; Arindam Mallik; et al 出版日期：2015-03-18 |
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