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标题
Direct growth of highly uniform graphite on SiNx/Si through metal induced crystallization of amorphous carbon for EUV pellicle
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网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.2687573
DOI
10.1117/12.2687573 doi
其它 期刊：
作者：Hye Young Kim; Jun-Hyeok Jeon; Kihun Seong; Yongkyung Kim; Seul‐Gi Kim; et al
出版日期：2023-11-21
求助人
赖新儿 在 2026-01-06 14:42:55 发布自贵州，悬赏 20 积分
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