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 Hybrid simulation of instabilities in capacitively coupled RF CF4/Ar plasmas driven by a dual frequency source 相关领域
原子物理学
电子密度
电子
等离子体
电场
电离
振荡（细胞信号）
容性耦合等离子体
温度电子
等离子体振荡
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离子
化学
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量子力学
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期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：Wan Dong; Yifan Zhang; Julian Schulze; Yuan‐Hong Song 出版日期：2024-02-01 |
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