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标题
Controlling of Chemical Bonding Structure, Wettability, Optical Characteristics of SiCN:H (SiC:H) Films Produced by PECVD Using Tetramethylsilane and Ammonia Mixture
四甲基硅烷和氨混合物PECVD制备SiCN：H（SiC：H）薄膜的化学键合结构、润湿性和光学特性的控制
相关领域
四甲基硅烷 等离子体增强化学气相沉积 X射线光电子能谱 材料科学 接触角 带隙 分析化学（期刊） 润湿 折射率 化学气相沉积 薄膜 化学工程 化学 纳米技术 复合材料 有机化学 工程类 光电子学
网址
https://www.mdpi.com/2079-6412/13/2/310/pdf?version=16750734...
AI链接 mdpi.com mdpi.comdoi.org
DOI
10.3390/coatings13020310 doi
其它 期刊：Coatings
作者：Е. N. Ermakova; Alexey N. Kolodin; А. Д. Федоренко; Irina V. Yushina; Vladimir R. Shayapov; et al
出版日期：2023-01-30
求助人
Mu5k 在 2025-12-04 15:31:54 发布自上海，悬赏 10 积分
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