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 Planar AlN/GaN resonant tunneling diodes fabricated using nitrogen ion implantation 氮离子注入制备AlN/GaN平面共振隧穿二极管
相关领域
材料科学
光电子学
二极管
离子注入
平面的
量子隧道
薄脆饼
硅
氮化硅
制作
氮化物
共振隧穿二极管
离子
纳米技术
化学
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光学
病理
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Baoqing Zhang; Liuyun Yang; Ding Wang; Kai Cheng; Bowen Sheng; et al 出版日期：2023-02-06 |
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