A novel design of capacitive MEMS pressure sensor for lubricating system

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标题	A novel design of capacitive MEMS pressure sensor for lubricating system 一种新型润滑系统电容式MEMS压力传感器的设计相关领域电容感应微电子机械系统压力传感器多物理电容振膜（声学）材料科学灵敏度（控制系统）梳状致动器表面微加工电容器声学电子工程电气工程光电子学工程类有限元法机械工程制作电极结构工程电压物理病理医学扬声器量子力学替代医学
网址	https://doi.org/10.1109/ncetnresem.2014.7088768
DOI	10.1109/ncetnresem.2014.7088768 doi
其它	期刊：作者：L. Chitra; V. Ramakrishnan 出版日期：2014-12-01
求助人	小学森在 2025-12-22 15:07:05 发布自福建，悬赏 10 积分
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