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Research on Fast Change Temperature TCU in IC Manufacturing
集成电路制造中快速变温TCU的研究
相关领域
温度测量 温度控制 过程（计算） 瞬态（计算机编程） 模具（集成电路） 计算机科学 材料科学 汽车工程 机械工程 电气工程 工程类 操作系统 物理 量子力学
网址
https://doi.org/10.1109/icmimt52186.2021.9476143
DOI
10.1109/icmimt52186.2021.9476143 doi
其它 期刊：
作者：Shouzhen Rui; Nijing Pi; HE Mao-dong; Mengjie He; Xiaokang Cao; et al
出版日期：2021-05-13
求助人
233 在 2025-12-03 08:38:29 发布自福建，悬赏 10 积分
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