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 Cu seed step coverage evolution with target lifetime for long-throw self ionized physical vapor deposition chambers 长抛自电离物理气相沉积室铜晶种台阶覆盖随靶寿命的演变
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期刊：Microelectronic Engineering 作者：Elisa Pegoraro; Alberto Perrotta; Gianpaolo Lorito; Laura Bertarelli; Benoit-Noel Bozon; et al 出版日期：2022-01-15 |
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