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作者

Elisa Pegoraro,Alberto Perrotta,Gianpaolo Lorito,Laura Bertarelli,Benoit-Noel Bozon,Dan Deyo,V. Spreafico

出处

期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier]
日期：2022-01-15 卷期号：256: 111717-111717 被引量：2

标识

DOI：10.1016/j.mee.2022.111717

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