High-throughput analysis of total electron yield and outgassing under EUV exposure for accelerated photoresist materials discovery

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标题	High-throughput analysis of total electron yield and outgassing under EUV exposure for accelerated photoresist materials discovery
网址	https://doi.org/10.1117/1.jmm.25.2.024602
DOI	10.1117/1.jmm.25.2.024602 doi
其它	期刊：Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology 作者：B. Luttgenau; Honggu Im; Meng Zhang; Kas Andrle; Qi Zhang; et al 出版日期：2026-04-01
求助人	爱笑可乐在 2026-10-23 11:43:01 发布自陕西，悬赏 20 积分
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