Error source sensitivity analysis in model-based coherence scanning interferometry for thin-film metrology - 科研通

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标题	Error source sensitivity analysis in model-based coherence scanning interferometry for thin-film metrology
网址	https://doi.org/10.1364/ao.561719
DOI	10.1364/ao.561719 doi
其它	期刊：Applied Optics 作者：Lei Xu; Cheng Chen; Rong Su 出版日期：2025-05-12
求助人	脆弱的刺猬在 2026-09-09 19:24:05 发布自河南，悬赏 10 积分
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Taylor & Francis

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