Optical, composition, durability, and environmental properties of the microwave plasma-assisted sputter-deposited silicon nitride

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标题	Optical, composition, durability, and environmental properties of the microwave plasma-assisted sputter-deposited silicon nitride
网址	http://dx.doi.org/10.1364/ao.578043
DOI	10.1364/ao.578043 doi
其它	期刊：Applied Optics 作者：Connor Lindsay; Carlos Garcia Nuñez; Lewis Fleming; Ian Brinkley; Jonathan Pomfret; et al 出版日期：2025-12-19
求助人	英吉利25 在 2026-09-20 10:04:24 发布自天津，悬赏 10 积分
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