Nano-crystalline Si1 − xCx:H thin films deposited by PECVD for SiC-on-insulator application

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标题	Nano-crystalline Si1 − xCx:H thin films deposited by PECVD for SiC-on-insulator application
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S002230930...
DOI	10.1016/j.jnoncrysol.2004.02.034 doi
其它	期刊：Journal of Non-crystalline Solids 作者：N. Forhan; M. Fantini; I. Pereyra 出版日期：2004-06-15
求助人	沉睡的大马猴在 2026-09-14 10:09:37 发布自江苏，悬赏 10 积分
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