发布文献求助
已完结
  • 文献求助详情
标题
[高分] 3D-profile-aware SMO for EUV lithography
网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.3099822
DOI
10.1117/12.3099822 doi
其它 期刊：Computational Optics 2026
作者：Shih-Hsiang Liu; Renier van der Meer; Parul Dhagat
出版日期：2026-05-28
求助人
Lizi 在 2026-07-08 16:58:51 发布自美国，悬赏 50 积分
下载 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
上个求助
下个求助
提交工单
该求助已完结，感谢关注
如需该文献，请重新发布求助，前往发布
科研通，破除各种障碍，优化资源分配，让科研信息充分流通
请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
刚刚
xingguangyu发布了新的文献求助10
1秒前
机灵梦菲发布了新的文献求助10
1秒前
sun发布了新的文献求助10
2秒前
2秒前
yangxue发布了新的文献求助10
2秒前
mm发布了新的文献求助10
3秒前
4秒前
laoli2022完成签到，获得积分10
5秒前
科研通AI6.4的应助被plateauman采纳，获得10
5秒前
秦屿完成签到，获得积分20
5秒前
6秒前
6秒前
6秒前
6秒前
6秒前
niqiu完成签到 ，获得积分10
7秒前
天天快乐的应助被chiweiyoung采纳，获得10
7秒前
江誌濤发布了新的文献求助10
7秒前
XU发布了新的文献求助10
7秒前
迷人的天抒的应助被晓晓采纳，获得30
8秒前
握月摘星发布了新的文献求助10
8秒前
9秒前
9秒前
寒冷如冬发布了新的文献求助10
10秒前
11秒前
呵呵呵呵柳完成签到，获得积分10
11秒前
12秒前
于向沉发布了新的文献求助10
12秒前
TT发布了新的文献求助10
12秒前
12秒前
听话的鸟完成签到，获得积分10
13秒前
14秒前
15秒前
Kansny发布了新的文献求助10
15秒前
岱山完成签到，获得积分10
15秒前
求文献发布了新的文献求助10
16秒前
脑洞疼的应助被OMIT采纳，获得10
16秒前
Owen的应助被灰太狼大王采纳，获得10
16秒前
16秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
2026年中国辛酸癸酸聚乙二醇甘油酯行业市场现状调查及投资机会研判报告 1000
模型平均及其应用 900
Nondestructive Testing Handbook: Vol. 4, Thermal and Infrared Testing (IR), 4th ed 800
Évora na Idade Média 555
作者名：Kristopher P. Plain，悉尼大学的，目前只能查到其四篇论文，想找到其博士论文 550
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition 510
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 内科学 物理 复合材料 催化作用 细胞生物学 无机化学 光电子学 物理化学 电极 基因
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 7345042
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 8957333
关于积分的说明 19020191
捐赠科研通 6996656
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 3219887
关于科研通互助平台的介绍 2384819
邀请新用户注册赠送积分活动 2200115
Copyright © 2020-2026 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通