Multiscale modeling of plasma–surface interaction—General picture and a case study of Si and SiO2 etching by fluorocarbon-based plasmas

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标题	Multiscale modeling of plasma–surface interaction—General picture and a case study of Si and SiO2 etching by fluorocarbon-based plasmas
网址	https://doi.org/10.1063/5.0058904
DOI	10.1063/5.0058904 doi
其它	期刊：Applied physics reviews 作者：Patrick Vanraes; Syam Parayil Venugopalan; Annemie Bogaerts 出版日期：2021-10-07
求助人	机智醉蓝在 2026-09-02 11:45:35 发布自四川，悬赏 10 积分
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