Structural Control in Atomic Layer Deposited Hafnium Oxide Thin Films through Vertical Cavity Surface-Emitting Laser (VCSEL)-Based Ultra-Rapid Heating

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标题	Structural Control in Atomic Layer Deposited Hafnium Oxide Thin Films through Vertical Cavity Surface-Emitting Laser (VCSEL)-Based Ultra-Rapid Heating
网址	https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2024.08.235
DOI	10.1016/j.ceramint.2024.08.235 doi
其它	期刊：Ceramics International 作者：Jaehwan Kim; Dohyoung Kim; Jeong-Won Cho; Heesu Hwang; Young-Soo Noh; et al 出版日期：2024-08-13
求助人	人间在 2026-07-19 16:58:34 发布自上海，悬赏 10 积分
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