Numerical investigation on electrical characterization of a capacitive coupled radio-frequency plasma

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标题	Numerical investigation on electrical characterization of a capacitive coupled radio-frequency plasma
网址	https://www.spiedigitallibrary.org/redirect/proceedings/proc...
DOI	10.1117/12.2182242 doi
其它	期刊：Other Conferences 作者：H. Yao; Xiantu He; J. P. Chen; Yachun Zhang 出版日期：2015-05-04
求助人	莫愁在 2026-07-21 10:22:35 发布自辽宁，悬赏 20 积分
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