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 Subnanometer Linewidth Uniformity in Silicon Nanophotonic Waveguide Devices Using CMOS Fabrication Technology 相关领域
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期刊：IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics 作者：Shankar Kumar Selvaraja; Wim Bogaerts; Pieter Dumon; Dries Van Thourhout; Roel Baets 出版日期：2009-11-18 |
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