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 Indirect Synthesis of Carbon-Free Perovskite SrTiO3 Thin Films via SrF2 and TiO2 ALD for DRAM Capacitors 相关领域
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期刊：Applied Surface Science 作者：Jaejun Lee; sangyeon Jeong; Kyunghun Lyu; T.-W. Kim; Chanwoo Park; et al 出版日期：2026-01-25 |
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