Plasma power effect on crystallinity and density of AlN films deposited by plasma enhanced atomic layer deposition

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标题	Plasma power effect on crystallinity and density of AlN films deposited by plasma enhanced atomic layer deposition
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S223878542...
DOI	10.1016/j.jmrt.2023.10.302 doi
其它	期刊：Journal of Materials Research and Technology 作者：Xiao-Ying Zhang; Duan-Chen Peng; Jia-Hao Yan; Zhi-Xuan Zhang; Yu-Jiao Ruan; et al 出版日期：2023-11-05
求助人	搞学术在 2026-04-09 23:46:20 发布自福建，悬赏 10 积分
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