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标题	Influence of sputtering power on the switching and reliability of ferroelectric Al0.7Sc0.3N films 溅射功率对Al0.7Sc 0.3 N铁电薄膜开关和可靠性的影响相关领域铁电性溅射材料科学极化（电化学）矫顽力分析化学（期刊）极地的氮气凝聚态物理光电子学薄膜化学纳米技术电介质物理有机化学物理化学色谱法天文
网址	https://doi.org/10.35848/1347-4065/ac5db0
DOI	10.35848/1347-4065/ac5db0 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Ryota Shibukawa; Sung‐Lin Tsai; Takuya Hoshii; Hitoshi Wakabayashi; Kazuo Tsutsui; et al 出版日期：2022-03-14
求助人	研友_Z7XGz8 在 2025-05-20 18:39:48 发布自新加坡，悬赏 10 积分
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