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 Electro-chemical mechanical polishing of single-crystal SiC using CeO2 slurry CeO2浆料电化学机械抛光单晶SiC
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期刊：Electrochemistry Communications 作者：Hui Deng; Kenji Hosoya; Yusuke Imanishi; Katsuyoshi Endo; Kazuya Yamamura 出版日期：2015-01-12 |
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