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 Liquid-free, piezoresistive, SOI-based pressure sensor for high temperature measurements up to 400 °C 无液体、压阻式、基于SOI的压力传感器，适用于高达400°C的高温测量
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期刊：IEEE Sensors 作者：Ha-Duong Ngo; Biswaijit Mukhopadhyay; Vu Cong Thanh; Piotr Mackowiak; V. Schlichting; et al 出版日期：2012-10-01 |
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