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标题
100-nm-Scale Alignment using Laser Beam Diffraction Pattern Observation Techniques and Wafer Fusion for Realizing Three-Dimensional Photonic Crystal Structure
相关领域
薄脆饼 衍射 材料科学 光学 融合 激光器 光电子学 光子晶体 波长 光子学 激光束 梁（结构） 物理 哲学 语言学
网址
https://doi.org/10.1143/jjap.37.3334
DOI
10.1143/jjap.37.3334 doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Noritsugu Yamamoto; Susumu Noda
出版日期：1998-06-01
求助人
David Zhang 在 2025-11-26 17:44:57 发布自中国，悬赏 10 积分
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