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 书籍（章节） High Accuracy and High Capacity Motor Cooling System Using Phase Change of Refrigerant for Semiconductor Lithography Apparatus 半导体光刻设备用制冷剂相变的高精度大容量电机冷却系统
相关领域
制冷剂
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期刊： 作者：Alex Ka Tim Poon; Fukunosuke Nishimatsu; Masahiro Totsu; Leonard Kho; Gaurav Keswani 出版日期：2006-10-18 |
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