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 A Study on Ohmic Contact to Dry-Etched p-GaN 相关领域
欧姆接触
干法蚀刻
材料科学
光电子学
蚀刻（微加工）
退火（玻璃）
肖特基势垒
反应离子刻蚀
薄脆饼
图层（电子）
纳米技术
复合材料
二极管
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期刊：IEICE Transactions on Electronics 作者：C.Y. Hu; Jin‐Ping Ao; M Okada; Yutaka Ohno 出版日期：2008-07-01 |
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YosakuraFatali
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