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 The Design and Control of a Rigid-Flexible Coupling Positioning Stage for Enhanced Settling Performance 提高沉降性能的刚柔耦合定位台的设计与控制
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期刊：Journal of Dynamic Systems Measurement and Control-transactions of The Asme 作者：Hao Peng; Zhijun Yang; Wenchao Xue; Huang Ruirui; Yi Huang 出版日期：2021-11-01 |
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